采用聚合氯化鋁處理多晶硅生產(chǎn)廢水的工藝流程法

    隨著城市用水量的逐漸增大，水資源短缺越來越嚴(yán)重，如處理后水直接排放，浪費(fèi)了寶貴的水資源。水回用勢(shì)在必行，水回用具有極高的社會(huì)效益和環(huán)境效益，它一方面可以減少環(huán)境排污量，減少環(huán)境污染。多晶硅、單晶硅生產(chǎn)廢水在電子半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)過程產(chǎn)生的廢水。多晶硅生產(chǎn)和研磨過程中產(chǎn)生的廢水水量較大、傳統(tǒng)方法處理后出水的有毒有害金屬離子、氟等不能穩(wěn)定達(dá)標(biāo)，對(duì)水資源環(huán)境造成的污染日益嚴(yán)重，同時(shí)由于我國(guó)水資源時(shí)空分布極不均勻，未回收利用的氯硅烷低沸物和氯化氫、提純分離塔的不凝氣體、還原爐開停爐置換尾氣、各系統(tǒng)檢修時(shí)的置換尾氣等工藝廢氣經(jīng)尾氣淋洗塔淋洗處理產(chǎn)生的酸性廢水，其水量與工藝廢氣的排放量、氯硅烷和氯化氫的濃度有直接關(guān)系。為確保處理后的廢氣達(dá)標(biāo)排放，工藝廢氣的排放量或其中的氯硅烷、氯化氫濃度越大，產(chǎn)生的廢水量越大。

 

　　聚合氯化鋁溶液配制。A120，含量>30％、鹽基度>80％的聚合氯化鋁按比例緩慢投加到用回用水定容的聚合氯化鋁溶解配置攪拌槽中，不斷攪拌配制成5％的聚合氯化鋁溶液，打開放液閥，使配制好的聚合氯化鋁溶液進(jìn)入溶液槽中供處理系統(tǒng)使用，兩組溶液槽一組配制一組使用。

 

　　混合的實(shí)質(zhì)是混凝荊水解產(chǎn)物在水中的擴(kuò)散問題，使水中膠體顆粒同時(shí)脫穩(wěn)產(chǎn)生凝聚，為取得好的絮凝效果創(chuàng)造條件，也是節(jié)省投藥量的關(guān)鍵。本工藝采用管式微渦管道混合器作為混合設(shè)備，且聚合氯化鋁溶液在輸送泵前加入，PAM溶液在輸送泵后加入，利用湍流微渦旋和離心慣性效應(yīng)，實(shí)現(xiàn)了PAC、PAM（聚丙烯酰胺）水解產(chǎn)物在廢水中的充分?jǐn)U散，使廢水中形成的膠體顆粒得到了更好的脫穩(wěn)。加藥量是根據(jù)絮凝沉淀系統(tǒng)出水水質(zhì)進(jìn)行調(diào)整的，一般控制每立方米廢水投加5％PAC藥液6一10L，投加0．5‰